Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669
Title: การประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ
Other Titles: Applications of x-ray lithography in fabrication of inductors and capacitors
Authors: มาโนทย์ มาปะโท
Keywords: ตัวเก็บประจุไฟฟ้า;ตัวเหนี่ยวนำไฟฟ้า;รังสีเอ็กซ์
Issue Date: 2556
Publisher: สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669
Appears in Collections:วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Fulltext.pdfเอกสารฉบับเต็ม9.09 MBAdobe PDFView/Open
Abstract.pdfบทคัดย่อ1.83 MBAdobe PDFView/Open


Items in SUTIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.